表面抵抗率について

質問

無機材料の表面抵抗率について調べているのですが、具体的な値が記載された文献やホームページが見つかりません。
知りたい材質は、酸化アルミ、酸化チタン、酸化シリコン、酸化ニッケルです。一部だけでもいいですので、お願いします。

回答No.2

c80s3xxx

一般論として，これらの物質の電導性は結晶欠陥等に大きな影響を受けます．
したがって，欠陥の少ない単結晶等について求められた固有伝導度の値が，現実の試料に対して適用できることも，どちらかというと希です．
まして面伝導を問題にするような薄膜系であれば，その結晶性や粒界等の影響は非常に大きいと予想され，作製条件に対する依存性も顕著であろうと予想されるわけです．
具体的な値を見つけられたところで，その値にどの程度意味があるのか，極めて疑問です．

お礼

参考になりました。ありがとうございました。

回答No.1

kanta610

ご質問のセラミックは絶縁物ですから、表面抵抗率は探すのが難しいと思います。
通常の物性表であれば、体積抵抗率で示されていますね。
これであれば、次のような感じのデータとなるでしょう。

http://www4.ocn.ne.jp/~katonet/kagaku/zetuen.htm

一方、表面抵抗値と指定されていると言う事は、勝手に薄い膜の場合だと想定すると、体積抵抗率から換算する事になるのだと思います。

http://www.dins.co.jp/dins_j/3seihin/genri/ghlup2.htm

ただし、この換算も本来は低抵抗側（10の６乗以下位？）で実用的な方法だと思いますから、絶縁物の場合、実際に測定するとかなりのばらつきになるのではないでしょうか？

これでご質問のお答えになっているかどうか判りませんが、一般的にはこんな所かと。。。

お礼

参考になりました。ありがとうございました。