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表面抵抗率について
無機材料の表面抵抗率について調べているのですが、具体的な値が記載された文献やホームページが見つかりません。 知りたい材質は、酸化アルミ、酸化チタン、酸化シリコン、酸化ニッケルです。一部だけでもいいですので、お願いします。
- banbanjump
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- c80s3xxx
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一般論として,これらの物質の電導性は結晶欠陥等に大きな影響を受けます. したがって,欠陥の少ない単結晶等について求められた固有伝導度の値が,現実の試料に対して適用できることも,どちらかというと希です. まして面伝導を問題にするような薄膜系であれば,その結晶性や粒界等の影響は非常に大きいと予想され,作製条件に対する依存性も顕著であろうと予想されるわけです. 具体的な値を見つけられたところで,その値にどの程度意味があるのか,極めて疑問です.
- kanta610
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ご質問のセラミックは絶縁物ですから、表面抵抗率は探すのが難しいと思います。 通常の物性表であれば、体積抵抗率で示されていますね。 これであれば、次のような感じのデータとなるでしょう。 http://www4.ocn.ne.jp/~katonet/kagaku/zetuen.htm 一方、表面抵抗値と指定されていると言う事は、勝手に薄い膜の場合だと想定すると、体積抵抗率から換算する事になるのだと思います。 http://www.dins.co.jp/dins_j/3seihin/genri/ghlup2.htm ただし、この換算も本来は低抵抗側(10の6乗以下位?)で実用的な方法だと思いますから、絶縁物の場合、実際に測定するとかなりのばらつきになるのではないでしょうか? これでご質問のお答えになっているかどうか判りませんが、一般的にはこんな所かと。。。
お礼
参考になりました。ありがとうございました。
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参考になりました。ありがとうございました。