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プラズマCVDにおける電子について

お世話になります。 プラズマCVDのことでお聞きしたいのですが、 高周波やDC電源でプラズマを起て、基板はアースにつないでおくと、電子は、基板に向かって飛んでいくと思うのですが、この際、基板状に堆積した膜材質は飛んできた電子でダメージを受けるのでしょうか？ もしくは、電子によって基板に埋め込まれるのでしょうか？

質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
  • BACKHAND
  • ベストアンサー率22% (19/85)
回答No.1

某メーカのプラズマCVD担当です。 基本的には、何らかのダメージを受けます。特に高密度 プラズマCVD(基板にBias RFを印加するもの）は、顕著に 現れ、膜質（膜収縮率、エッチレート、絶縁耐性等）に変化 が見られます。

jakuhaimono
質問者

お礼

ありがとうございます。 膜厚を稼ぐのに時間がかかって困っておりました。 早速、何らかの手段を講じて解決したいと思います。 お忙しいところありがとうございました。

その他の回答 (1)

  • smity
  • ベストアンサー率35% (5/14)
回答No.2

どのようなデバイスで絶縁膜を形成するかにも よるのですが、たとえばメモリーやロジックなどの 素子の場合、トランジスター部に近いところでは、 ダメージを考えプラズマCVDは使いません。 上層配線部では、多少のダメージは許容できる はずです。　 プラズマと基盤の電位差で加速された、イオン衝撃 によるダメージの他、プラズマの不均一性により 径方向の電位不均一さによる、基板内での絶縁破壊 などのダメージも考える必要があります。 また、プラズマCVDで成膜した膜自身の中にも チャージし電荷が溜め込まれる事があり、問題と 成ることがあります。

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