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窒化珪素の反応熱(生成熱)について

窒化珪素の反応熱(生成熱)がどのくらいの値なのか教えてほしいです。詳しく載っているページや本など知っていたら加えて教えていただけるとありがたいです。お願いします。

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  • ichiroy
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回答No.1

このページが参考になると思います。

参考URL:
http://www.batnet.com/enigmatics/semiconductor_processing/CVD_Fundamentals/chemistry/equilibrium.html

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