薬液飛散環境でのシリンダポジション検出方法
- 薬液飛散環境でのシリンダポジション検出方法について相談です。
- 現在の装置の駆動源に金属部はオールステンレス、パッキン類はフッ素ゴムのシリンダを使用していますが、耐薬液仕様の磁気センサが必要です。
- 可動体に薬液対応の近接SWを埋め込むのは大掛かりになるため、シリンダ本体で検知できる方法を求めています。
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薬液飛散環境でのシリンダポジション検出方法
皆様お世話になります。 現在設計中の装置の相談になりますが、 薬液(リン酸70%)が飛散する装置の駆動源に金属部はオールステンレス、 パッキン類はフッ素ゴムのシリンダを使用しますが、 シリンダポジションの検出をする際に、メーカー純正の オートスイッチでは耐薬液に対応する物が無いため、 耐薬液仕様の磁気センサを別に探し、取り付けを検討していましたが、 私が探した限りでは、適用できそうな物が見つかりませんでした。 装置内に使用するシリンダの数も多いため、可動体に薬液対応の近接SW等を 埋め込むのも大掛かりになるため、出来るだけシリンダ本体で検知できればと 希望しております。 そこで適用できる磁気センサ、又は他に良い手段をご存じの 方がおられましたら、ご教授いただけませんでしょうか。 尚、仕様するシリンダはφ20~φ40、検出精度は±5~10mm程度で構いません。 以上になりますが、宜しくお願いいたします。
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テフロン被覆なら良いのでしょうか? 残念ながら磁気近接センサじゃあないけれど テフロン被覆光電センサ http://ab.rockwellautomation.com/ja/Sensors-Switches/Miniature-Photoelectric-Sensors/PTFE-Coated-Photoelectric-Sensors オムロンやキーエンスにもテフロン被覆センサはあるのだが残念ながらコードはテフロンじゃない http://www.fa.omron.co.jp/products/family/453/feature.html http://www.keyence.co.jp/switch/kinsetsu/ev_f/ EH-910↓ならコードまでもテフロン被覆 http://www.keyence.co.jp/switch/kinsetsu/es/spec/ 質問文をよく読んでませんでしたすいません 外付けセンサはダメなんですね シリンダオートスイッチの中身はリードスイッチ http://www.osdc.co.jp/jp/products/products.shtml 秋月やRSでも売ってる http://akizukidenshi.com/catalog/g/gP-03676/ http://jp.rs-online.com/web/c/switches/reed-switches-accessories/reed-switches/ これらを使ってオートスイッチを自作するとかはダメ? リードスイッチにコードをハンダしてテフロンチューブに通すとか http://www.nichias.co.jp/products/product/fluorine/tube/tube07.html http://jp.misumi-ec.com/vona2/detail/110500120970/
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再出です。 シリンダも、塩ビBOX内に収納し、配管や配線をBOXから出す時は、塩ビやフッ素樹脂の 楔原理の継ぎ手を使用し、BOX内はN2パージ等で与圧にし、リン酸の浸透も防ぎます。 そして、スペースは大きくなりますが、塩ビかSUS316Lに塩ビを被覆した棒のみがBOXから 出る格好で、可動部は丸棒なのでOリングでシールすると、シリンダのオートスイッチが BOX内環境なので使用できます。 蓋を透明塩ビにすれは、ランプにて動作確認もできます。 シリンダの全てがSUS316にならないなら、シリンダをBOX内隔離して使用がベターですよ。
お礼
「後(ご)の先(せん)、アフターユー 」様 再度、アドバイスを有難うございます。 特に薬液の飛散が過酷な箇所は、当該手法の併用を 検討したいと思います。 どうも有難うございました。
半導体でも、H3PO4は良く使用します。 そして、薬液(リン酸70%)が飛散する装置の駆動源に、金属部はオールステンレスの部分も 大丈夫ですかね?(URLでも確認できるように、SUS316オールでないと問題ありですがね) さて、問い合わせ内容は、リン酸の飛散から隔離することでの対応がベストです。 具体的には、 ? 投受光PHセンサを透明PVC(塩ビ)BOXの中に入れる(温度は、RTの条件です) 塩ビは溶接もできますし、BOX構造は比較的容易にできます ? 軟ビ等のパンキンと蓋でねじ止めする ? センサのコードは、市販のPVC又はフッ素継ぎ手シールする ? 更に気密性保持のために、減圧したN2パージをし、与圧でリン酸の侵入を防ぐ 半導体では、樹脂製のシリンダやフッ素コーティングのシリンダを高価ですが作成しています。 RT:室温(ルーム・テンプ)
お礼
「後(ご)の先(せん)、アフターユー」様 お忙しいところ、アドバイスを頂きまして有難うございます。 当方も主に半導体製造装置メーカーに流体制御部品を供給している メーカーです。 今回は社内で内製して稼働しています、ステンレス部品の内面処理装置の 半自動化装置を検討しておりますが、稼働環境が厳しいため、 これまで何年も手動式装置で使用実績のある当該シリンダのみを駆動源として 設計を進めております。 使用するシリンダが7本で、ポジションの検出を14ポイント確保したい ため、オートスイッチ方式を模索しておりました。 磁石付きシリンダにする事のリスクは未検証ですが、、、。 頂きましたアドバイスは是非、今後の手法として参考にさせて頂きたいと 思います。 有難うございました。
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