SEMIスタンダード G52-90とは？
- SEMIスタンダードのG52-90は、イオン分析に関する規定項目です。
- 具体的には、どのような分析機器を使用し、どのような単位で測定を行うかが定められています。
- 詳しい内容については、SEMIスタンダードの公式文書を参照することをおすすめします。
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SEMIスタンダード G52-90
半導体国際工業規格（SEMIスタンダード）が有りますが、この中でG52-90の項目で内容が分かりません。イオン分析に関わる内容と思いますが、詳しく知りたい。例えば、どのような分析機器を使用し、どのような単位になるのか等、 ご教授お願いします。
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何処に何が付着しているかは、 http://www.natc.co.jp/detail/result/result1.html XPS などＸ線を用いた定性分析手法で、試験立会いすると直ぐ結果が出るほど簡単ながら、 G52-90 半導体リードフレームのイオン汚染物の測定のための標準測定法 なので定量分析です。 この規格について特許文献に断片的な記述がありました。 http://www.j-tokkyo.com/2000/D21H/JP2000-154492.shtml 脱イオン水に浸漬し、９５℃で３０分間抽出を行う。ここで脱イオン水とは、抵抗値が１５ＫΩ・ｃｍ（２５℃）以上のものと定義される。 抽出イオンの測定はイオンクロマトグラフを用いて行うが、本発明で使用した装置は、ＩＣ５００Ｐ（横河電気（株）製）である。また、カチオン標準液用化合物としては、ＮａＣｌ、ＮＨ４Ｃｌ及び、ＫＣｌを用い、アニオン標準液用化合物としては、ＮａＣｌ、Ｎａ２ＨＰＯ４・１２Ｈ２Ｏ、ＮａＢｒ、ＮａＮＯ３、及びＫ２ＳＯ４を用いた。 感覚的には判るかと思います。水に漬けて抽出して量を測る手法で、時間は掛かるはず。
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大変失礼な記述をしますが、“SEMI G52-90”の規格資料を高価であっても購入し、 確認することをお勧めします。 また、大きな図書館では(特に、半導体工場が乱立している神奈川県の南武沿線付近) “SEMI G52-90”の規格資料を保有していますので貴殿でも調べてみてください。 > イオン分析に関わる内容と思いますが、詳しく知りたい。例えば、どのような分析機器を > 使用し、どのような単位になるのか等、ご教授お願いします。 分析機器メーカーの調べ方の一例をURLに記述しますので、参考にして貴殿でも調べて みてください。 分析を依頼している企業も多々あります。 そこからの情報に基づいた情報での資料作成がベターと思います。 ですから、＊＊分析センターに検査依頼の見積と情報提供を受けたら如何でしょうか？
お礼
有難う御座います。 参考内容等確認させて頂きます。 詳しく添付頂き有難う御座いました。
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