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半導体基板表面汚染の概要と上限値について
- 半導体基板表面汚染にはパーティクル汚染、金属汚染や化学汚染があります。
- 金属汚染原因の一つであるアルカリ金属の残渣上限値（品質基準値）や、無機汚染原因の一つである塩基や酸の残渣上限値（品質基準値）が存在します。
- これらの上限値内であれば、半導体基板の不良や欠陥は起きにくいと考えられます。
- 電子部品・基板部品
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はい、その数値が簡単に割り出せて簡単に実現できる領域にあれば 半導体プロセス技術者のかなりの部分が失業してしまいます。 最新プロセスでその相関関係を解析するのを生業とする会社もあります。 陳腐化したプロセスではかなりの確度での検量線が引けますが 今更まとめて学会公表しても誰も得をしないので明かされることは無いですね 大学などにスライドしてきた方にこっそり聞くくらいが早道でしょうか。
お礼
回答ありがとうございます。 なるほど、やはりなかなか情報を得るのは難しいようですね。 数値を出すための企業が存在していることを見ても一筋縄ではいかないようですね。 参考にさせていただきます。
これは外堀から知ることが出来れば早いですが。 大日本スクリーンなど洗浄機メーカ。話次第であの社の要求仕様はコレコレなので、この機種が・・・とか。流石にサイトに数値は出ていない。 半導体、液晶は、そのせいもあって技術流出した。 逆に先端技術ではないように見える電子部品、自動車部品など、製造設備専業メーカが無い品種分野では流出が遅く、今回供給不安を招いた。 化学関連会社と話するチャンスがあったので、この話をぶつけてみました。 ユーザーと共同開発しており守秘義務は厳しい。しかし製品はそれ以外にも売っている。 社内でも情報にアクセス出来る人間は限定。だがテーマ共通なら、担当ユーザー毎の技術者の間での会話まで禁止することは現実問題として無理。 裾野広い分野で係わる技術者も多いから、ヤッパリ拡散していくでしょうねぇ～
お礼
回答ありがとうございます。 外堀から知るのが早いようですね。 メーカーの要求仕様から基準値を設定(?)するといった形でしょうか？ なかなか情報を得るのは難しいですね。 ありがとうございました。
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