位置きめ精度の問題を解決する方法
- 位置きめ精度の問題を解決するためには、指示精度の改善が重要です。指示精度が約200mm間隔で周期的な変動を持ってしまっている場合、その原因を特定し、修正する必要があります。
- 一つの手法として、レーザー干渉計との差を1mm間隔で測り、それを補正してステージを動かす方法があります。この方法により、指示精度の改善が期待できます。
- 同様の問題を経験した方には、指示精度の改善に成功した方法や、問題の原因となった要素の特定方法について情報を共有してもらうことが有益です。他の方の経験を参考にして、問題を解決することができるかもしれません。
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位置きめ精度
指示精度±2μｍのステージを立ち上げ中です。 ストローク1000mm程度ですが、指示精度が約200mm間隔で 周期的な変動を持ってしまっています。 グラフを描くと、ほとんど同じ波形が5回繰り返されています。 1000mm長を、レーザー干渉計との差を1mm間隔で測り、それを補正して 動かして、指示精度を測っています。 同じような経験をされた方はいませんでしょうか？
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外しているかも知れないが 1000mmで5回・約200mm間隔が引っかかる 200mm間隔に関連する構成要素があるのでは？ ガイドのボールが不良だとも考えられるが200mmにはならいだろうし 例えば取り付けのピッチとか・・・・ きっちりと平面が出ていれば歪む事も考えにくいが 剛性が無いと不安です。
>>ステージの構成はLMガイド＋＞＞リニアモータ、リニアスケールです。 上下方向のひずみ？ したのステージが歪んでる（加工上のミスではない そうゆうもの）だとおもう 加工時の温度変化 一定間隔 は刃物の加工ピッチや、 ベースの魔鏡化（骨が等ピッチ）など 魔鏡 http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%AD%94%E9%8F%A1 修正は手でやるしかない、俗に言う神業 というか指示精度±2μｍを出そうとしたら そもそもそんなもだと思うが
ステージの構成は、 LMガイド＋リニアモータ、リニアスケール です。 分解能力とか、メカニカルなガタは、問題ないのでしょうか？ また、制御系で三菱電機さんのMR-J3を今回初めて使用する 以前はJ2をサーボモータで使用していたであれば、MR-J3の 使用方法に問題があります。三菱電機さんに確認下さい。 その他は、 ◆ リニアスケール等の配線が、規定に達していない。 保証外の配線や中継機器を使用している、等々。 ◆ リニアモータは磁力が強いので、1個使用の片持ち構造等で、LMガイド の剛性が不足し、リニアスケールの隙間を維持できていないのでは。 1000mm間を全てスペックの範囲に調整しなくてはいけません。 リニアモータは、100kgの重量物を持ち上げる場合は100kg以上の力が 必要ですが、横に滑らせ移動する場合は100kg×摩擦係数（例えば0.3） ＝30kgの力で動くのと同じで、搬送能力の数倍の力で引き合っていま す。一度、確認してみて下さい。 等々のチェックが必要です。
位置きめ精度には、 ◆ 絶対位置決め精度 これは、ボールねじの送り精度で、回転数と進む距離が完全に比例 関係でないとできません。 ◆ 相対位置決め精度 これは、ボールねじの送り精度で、回転数と進む距離が完全に比例 関係でなくとも可能です。 ボールねじの再現性があれば、レーザー等で距離を測定して、 第１位置決めポイントは、回転を少し緩目で停止 第２位置決めポイントは、回転を少し締目で停止 第３位置決めポイントは、回転をチョット緩目で停止 第４位置決めポイントは、回転をチョット締目で停止 ・ ・ の様に、回転数を少し調整して距離を出します。 しかし、ボールねじの再現性がない場合は、これはできません。 さて、ボールねじの再現性がなくなる要因は、 ? ねじとナットにガタがある。<予圧仕様のボールねじを使用するべき> ? 軸受けスラスト方向にガタがある。<単列深溝玉軸受の使用は避け、 アンギュラ玉軸受等の予圧セットができる仕様にするべき> 等々です。 一度、あるポイントでレーザー計測した後に、手で軽く前にやったり、 後ろにやったりして、軽い負荷を掛けた時レーザー計測値が変化するか を確認してみて下さい。 ガタがあれば、変わる筈です。
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