Ni上に密着の良いスパッタリング膜を形成する方法…

質問

Ni上に密着の良いスパッタリング膜を形成する方法を教えてください

スパッタリングの初心者で困っています。

仕事でNiめっき上に密着性良くCrのスパッタリング膜を形成したいのですが、うまく密着がとれません。

酸化膜ができてしまっているのか、めっき後～スパッタで前処理等、
良い方法はありませんでしょうか？

宜しくお願いします。

回答No.3

noname#230359

基本的にクロムは、酸化膜に対して密着がいいです。従って、Niにニッケルの酸化膜ができていても問題はないと思います。
なにか汚れ（有機？）がついていることも考えられます。有機物の洗浄も入れたら如何でしょうか？また、逆スパッタもやってみては。

お礼

ご回答ありがとうございます。
クロムは酸化膜と密着が良いのですね。有機残渣は確認してなかったので、
検討させていただきます。

回答No.2

noname#230359

逆スパッタはちゃんと行っていますか？

お礼

ありがとうございます。
逆スパッタの条件が詰めきれていないのかも知れません。
早速、検討させていただきます。

回答No.1

noname#230359

なんとも、アドバイスし難い内容です。
以下URLの様な検索で、情報を入手して、蒸着機メーカー等に
確認するのが早道だと思います。
教えてくれるかが問題ですが、蒸着機や蒸着方の論文とかは、
目を通してはいませんか？

参考URL：

http://search.yahoo.co.jp/search?p=%E3%82%AB%E3%82%B7%E3%82%AA%E3%80%80%E3%83%8B%E3%83%83%E3%82%B1%E3%83%AB%E3%80%80%E8%

お礼

アドバイスありがとうございます。
早速あたってみます。