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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ＳＥＭ観察）

ＳＥＭ観察

このQ&Aのポイント
  • 銅箔の表面をＳＥＭ観察しようと思っていますが、うまく見られません。
  • ただステージの上に銅箔を導電テープで固定しています。
  • どうしたらいいでしょうか？
noname#230358
noname#230358

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.1

他の試料は十分に観察できているものとします。もしそうでなければ、装置側あるいは設置環境に何か不具合があるのかもしれません。 電解銅箔の観察は私も苦労しましたが、最初から試料台を傾けてフォーカスの当たりをつけて、それから徐々に所望の角度にすると解決しました。銅箔表面が平滑なため、フォーカスをあわせるポイントが見つけられないことに由来します。傾けることで、微妙な凹凸が強調され、ポイントが絞りやすくなります。 市販の銅箔の表面に有機防錆膜とか乗っていませんか？有機物があるとチャージアップしてうまく見られません。対策としては（１）金属を蒸着する（２）防錆膜を落とす（３）加速電圧を落とす（４）低真空で観察するなどがあります。 お役に立てれば幸いです。

noname#230358
質問者

お礼

遅れてもうしわけありません。 非常に役立ちました。20000倍で撮れるようになりました。

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