ＳＥＭ観察に適した埋込樹脂

質問

電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察に適した埋込樹脂に関して皆様のお知恵をお貸し下さい。

ＳＥＭで観察する際アクリル系樹脂に埋め込んでいます。
試料が薄い板で、観察したい面が断面なために、埋め込まざるをえません。
しかし、樹脂に電子線が照射されると樹脂が焼けてしまい、
結果に悪い影響を与えています。
ＳＥＭ観察に適した（焼けない？）樹脂をご存知の方、
若しくはもっと良い方法をご存知の方がいらっしゃいましたら、
ご教授下さい。

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

ムサシノ電子さんにある導電性樹脂があるのでこれを使っています。
ちょっと収縮が大きいのですが、樹脂を除去せずに焦げも出ないので使っています。連絡してみてくださいませ。
ただし、樹脂は透明ではないので、位置を出しながら断面を切りたい場合にはこの樹脂は向きません。

樹脂埋め込みをせずに位置出しをしながら断面を造るときは治具を作成して断面を作っています。（ご希望があればうちの会社で作れると思いますが。。。製作現場から結構高いことを言われるのであまりお勧めできません。）

参考URL：

http://www.kagaku.com/musasino/

お礼

ご回答ありがとうございます。
こげない樹脂を探しておりましたが、サンプルも入手できず閉口しておりました。ムサシノさんに連絡してみます。ＥＰＭＡで使えるか分かりませんが・・
ジグの検討（内製品ですが）もしてみます。
アドバイスありがとうございました。

回答No.3

noname#230359

キーエンスさんのSEMは
「低加速電圧観察対応で、非導電性試料でも非蒸着で観察できます。
また電子ビームのエネルギーが低いため、試料最表面の微細な構造まで
鮮明に観察できます。」
との事です。

無料テスト機貸し出しもしているようです。

参考URL：

http://www.keyence.co.jp/microscope/sem/ve_8800/features01.jsp

お礼

ご回答ありがとうございます。
使用目的を「ＳＥＭ」と書きましたが、正確には「ＥＰＭＡ」です。
銃の条件がＳＥＭとＥＰＭＡで異なることをすっかり忘れていました。
ＥＰＭＡで微量元素を分析するため加速電圧を下げられないのが実状です。

回答No.1

noname#230359

「包埋樹脂」でWEB検索するといろいろヒットします。

多分、実際の使用実績をお知りになりたいのだと思いますが、聞いた話でしか分かりませんのでご容赦ください。

品番までは聞いていませんが、マルトーの「包埋樹脂」を使用している取引先を知っています。
HPには、「アクリル・ワン」しかありませんのでこれだと思います。

参考URL：

http://www.maruto.com/

お礼

ご回答有り難うございます。
埋込樹脂ではなく包埋樹脂ですか・・それは気付きませんでした。
教えていただいたHPに載っているテクノビット5000が私が探している
ものに近いのですが、これを使用した方がいらっしゃいましたら、
感想を教えていただけませんでしょうか。