WET状態での薄膜の非接触膜厚測定方法について
- WET状態の薄膜の非接触膜厚測定方法について困っています。膜厚は大体15μm程度であり、安価でハンディタイプの測定器を探しています。
- 追加情報として、液体の粘度は約28mPa・sで常温です。フィルム厚は約40μmです。
- 非接触で薄膜の膜厚を測定するための方法や測定器について、お知恵をお貸しいただければ幸いです。
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WET状態の薄膜を非接触で膜厚測定したい
プラスチックフィルムの上に比較的粘性の低い液体をコーティングするのですが、WET状態でのよい膜厚測定方法が無く困っています。膜厚は大体15μm程度です。非接触で測定でき、なるべく安価（￥50万程度）で尚且つハンディタイプの測定器がありましたら教えて頂きたく、お願い致します。 追記ですが、液体の粘度は約28mPa・sで常温です。フィルム厚は約40μmです。
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５０万円はちょっと厳しいと思いますが、１００万円程度のものならば 赤外線吸収の原理を用いた、非接触でハンディな膜厚計はkurabo殿にラインナップがあります。１５μｍなら計測可能と思います。kurabo殿も購入前提ならば、貸し出ししてくださる可能性があるので、管理に必要な精度を満足するか、同一成分で基準厚みを何水準か作成して計測器のばらつきを確認されてはいかがかと思います。
非接触で15μｍであれば、光学式膜厚測定器が存在します。 ただし、値段は高価です。高いだけにメーカーで測定器の貸し出しなどをしてくれるメーカーがあります。 超音波を使用した測定器では、15μｍは厳しいように思います。 一般的に超音波センサの分解能及び精度は、音の周波数に依存するためマイクロメーターレベルを検出するには、ものすごく高い周波数が必要になります。 キーエンスであれば、測定器を貸してもらえるのではないでしょうか。 測定出来てから、購入するかどうか考えられて見てはどうでしょうか。
非接触の膜厚計ってあるのでしょか？私の知っている膜厚計はだいたい接触型ですけれども。もし、非接触型ならば、基準膜厚が15μmからみて相当高い周波数の音波なんかを当てて計測しなければならないと思うのですが(表面から跳ね返る時間と膜の奥から跳ね返る時間の位相差を計算する)？
お礼
早速のご回答有り難うございます。 以前自分で調べた際、キーエンスで測定が可能、かもしれない非接触膜厚計をラインナップしていたのを確認したのですが、値段が高価（￥300万ほど） だったのと必ず計測できる保障が無かったため断念した経緯があります。 非接触ですと超音波方式になるのでしょうね。
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