形を選ばない測定方法

質問

皆さん、こんにちは、お教え頂きたく宜しくお願い致します。

　半導体の研究で抵抗値を測定したいのですが、半導体部品に
応力をかけられない（破壊モード？）ため測定ピンを当てられずに
困っております。現在使用不可となっている水銀みたいな測定電極
など無いかお教え頂けないでしょうか？測定電圧は最大でもＤＣ６０Ｖ
程度です。

回答No.1

noname#230359

毎度ＪＯです。
荷重がかけられないとの事ですが、プローブなどでは無く、
ＩＣのボンディングに使われる、金糸などではいけませんか？

ターゲットとなる抵抗値にもよりますが、高抵抗であるならば、
炭素のパウダーなどはどうでしょう、これに類似した物で、
金属のマイクロボールとかもありますね。

荷重の限度はどの程度でしょう？

お礼

ＯＪ様、こちらこそ何時もご指導有難う御座います。

＞荷重の限度はどの程度でしょう？
　静圧で５０ｇ以下を想定しますが、単位面積当たりの
荷重がどの程度かはまだ未知数です。（実験結果次第です）

　マイクロボールの存在は知っていました。金メッキタイプで
以前実験していたとの話があった程度で、データ等ドキュメントも
無いところです。
　炭素パウダーは良いですね、私はカーボンシートの実績がありますが、
今回は測定精度も問われると思いますので、出来るだけ接触抵抗が
低いものが必要と判断しております。
　前回同様（大電流サージの件・只今実験中）、ご回答深謝申し上げます。

ＪＯ様、↑ハンドルネームのタイプミスがありました。
お許しください。申し訳御座いませんでした。