半導体のオーミック電極材料とは？特許の内容を知りたい
- GaAs基板の半導体でのオーミック電極材料として一般的なものに、AuGe/Niがあります。この電極材料としてはAu、Ge、Niが適していると言われています。
- AuとGeの最適な割合については特許が存在します。昭和50年以前に特許が取られており、詳細な内容は一般には公開されていません。
- 特許の内容を閲覧する方法はないため、ネットでの検索では情報を得ることができませんでした。詳しい情報を知りたい場合は、特許について詳しく知る人に相談することをおすすめします。
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半導体のオーミック電極材料
GaAs基板の半導体でのオーミック電極材料として一般的なものに、AuGe/Niがあります。 （1）この電極材料としてはAu、Ge、Niが適している ということ、 （2）AuとGeの最適の割合（2つありますが、先に発表されている報告の方） という二つのことは特許になっているそうです。 この特許の内容を見る方法はないのでしょうか。（特許がとられたのは昭和50年より前です。） 以前、ネットで見ることができないか試してみたのですが、どうしても閲覧できませんでした。 また、どうして（1）、（2）が良いかの内容を詳しく知っていらっしゃる方が いらっしゃいましたら教えていただけないでしょうか。よろしくお願いします。
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