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静電ばね軟化効果について

静電ばね軟化効果とは,硬化ばねにバイアス電圧を加えて,ばねが効果する過程で一時的にばねが軟化(バイアス電圧の絶対値が小さいとき)する現象のことを言うのでしょうか? また,参考になる文献などあれば教えてください.

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