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XPSグラフのピークのシフトについて

IGZO-TFTを異なる温度で熱処理したときの、IGZO膜の組成分析をXPSで行っている論文を読んだのですが、「以下のXPSのグラフ(O 1s)のピークが高エネルギー方向に遷移しているのは、酸素空孔の増加を意味している」と書いてありました。 なぜこのようなことが言えるのでしょうか?ピークが高エネルギー方向へシフトするのは、電子密度が下がったときですよね?

  • yppon
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  • phosphole
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回答No.1

酸素空孔が増える→その分、相対的に系全体の電子密度は低下する→酸素のXPSピークが高エネルギーにシフト という理解で良いかと思ったのですがどうでしょう? 酸素空孔が増える→残った酸素イオンは、まわりの金属イオンにより強くバインドされる→酸素のXPSピークは高エネルギーシフト の方が分子科学的にはわかりやすいですが。

yppon
質問者

お礼

なるほど。とても分かりやすかったです! ありがとうございました!!!

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