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電離真空計、指示値の求め方

真空装置にArを導入、隔膜真空計の値は0.2Paでした。 電離真空計の指示値を求め、下記より選びなさい。 電離真空計は窒素に対して校正されている。 対するアルゴンの比感度は1.34である。 (1) 0.149 (2) 0.268 (3) 6.7 (4)0.2 (Pa)

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アルゴンの比感度は1.34なのでイオン電流すなわちメーターの振れは同真空度の窒素の1.34倍になります。従って、0.2Pa×1.34=0.268Paになります。 その詳細は以下の通りです。 電離真空計は、電界により加速された電子が気体分子に衝突し、気体分子は外殻電子がはじき飛ばされて+イオンになります。(=電離) その+イオンをマイナス電位のコレクターに集め、そのイオン電流を測定して真空度を測定するものです。 イオン電流の値Iiは、真空度(圧力)Pと電子電流Ieの積に比例し Ii=SPIe で表されますが、Sは感度と呼ばれ気体の種類により異なります。 この出題ではSAr/SN2=1.34ということです。

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質問者からのお礼

分かり易い説明までありがとうございます。 電離真空計の意味を履き違えていました。。

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