XPS(ESCA)解析法
スライドガラス上へ有機薄膜(数nm程度)を作製し、XPSで測定を行いました。
ケミカルシフトから化学状態（結合等）がわかるとありますが、
どのような計算をしなければいけないのですか？
手順を教えて下さい！
また、文献や資料を読むとピーク値が非常に正確であるようですが
「だいたいこの値」などと安易に考えては駄目なんでしょうか。
ラマン測定などと違って(厳密に言えばこれも正確ですが)。
例えば、基板のスライドガラスを測定した場合、Si2pでは106.1で
ピークを確認しましたが、文献ではSiO2は103.4でピークが発現すると
あります。確かにスライドガラスはSiO2のみで形成されてはいませんが
SiO2が最も多く含まれるものであり、測定値(106.1)をSiO2と見なし、
全体的に2.7だけシフトしていると考えました。
有機薄膜を作製したもので同じようにSi2pでの測定を行うと106でピークが
発現しました。文献値からは2.6シフトしていて、これもSiO2のピークかと
考えましたが、有機薄膜中にもSi元素を微量に含むため、2.6のシフトを
化学状態の変化とみなすか否かでも考え込んでいます。ちなみに、ピークの強度はスライドガラスよりも小さくなっています。
どんな場合では全体のシフトとみなすか等、指針となっているものがあれば
教えて下さい。
「X線で何がわかるか」加藤誠軌著、「X線分光分析」加藤誠軌/編著、
島津製作所さんの講習会テキストなどを読んでみましたが、
やはり実際頻繁に測定を行っている方からお聞きしたいです。
宜しくお願いします。
