大気圧熱アニール

質問

酸化亜鉛系透明導電膜を大気圧下で熱アニールやレーザーアニールを行うと電気的特性が悪化しますキャリア密度が減少し移動度も下がる。おそらく大気中の窒素が結合して酸素欠損で生じていたキャリアである電子をトラップしてしまいキャリア密度が低下、同時に不純物固溶の増加により電子の移動を妨げる為にホール移動度が低下しこれらの要因で低効率が悪くなっていると思われるのですがこの考察に対して皆さんの意見やアドバイスを頂けると有難いです。

回答No.1

noname#160321 · ベストアンサー

それなら高圧窒素下でアニールしてみて下さい。十気圧ぐらいのガラス製反応容器は容易に入手できますよ。