油拡散ポンプについて

質問

油拡散ポンプについてですが、資料等を見たのですが、いまいち構造が
理解できません・・・。頭悪いので・・・。
ヒーターで油を気化させてと言う所くらいしか解らず、真空ポンプで
真空引きすると、その油も引き込んでしまうのでは？と思ってしまいます。そう思っても良いのでしょうか？質問の仕方も悪いと思いますが宜しくお願いします。

回答No.4

pc_knight

油拡散ポンプは油回転ポンプと併用し、二段構えで使用されます。
油拡散ポンプは、ヒーターで油を気化させ、気化した油蒸気は中空円筒の中を上方に噴射させます。
円筒の上端には円錐面の笠があり、そこに当った油蒸気は向きを斜め下方に向きを変えて噴射、気体分子を巻き込み油回転ポンプの方に気体分子を送り出し、油回転ポンプに気体分子の排出をバトンタッチします。
一方、油蒸気は、油拡散ポンプの水冷されている内壁に衝突し熱を奪われ液化し、底にたまり再びヒーターで加熱され気化されます。
油拡散ポンプの油は多少は油回転ポンプの方に吸い込まれるかも知れませんが、油回転ポンプ内の油量が増えたのを経験したことはありません。
また、気にする必要もありません。油回転ポンプ内の油がポンプ外に排出気体に混じって排出される量の方が多いから。
ただ、油拡散ポンプの油は長時間の使用で量が減り、また劣化しますから定期的な交換しなければなりません。
気にしなければならないのは、油蒸気一部が真空室の方へ流れ込み、真空室の壁面に付着し分子レベルの油膜ができることです。
その防止のために油拡散ポンプと真空室の間に、バッフル（油分子の直進を防ぐジャマ板）やトラップ（真空室外から液体窒素などで冷やし、衝突した油分子を液化する）などを設けます。
油拡散ポンプの作動説明については、「蒸気噴射ポンプ」でウェブ部検索したら宜しいかと。

回答No.3

qaz_qwerty_me

油拡散ポンプが動作する真空度がポイントかな？

低真空度ではロータリー・ポンプで引いて、ロータリーで引けなくなった真空度になってから油拡散ポンプを動作させます。　真空度が上がっているので油が蒸発するジェットに空気の分子も一緒に引かれてポンプと同様に動作すると考えると良いかもしれません。

要は、ロータリーなどの物理的な羽では引ける空気分子がなくなっている状態で動作させるから、油が蒸発するジェットが有効な羽になるのではないと思います。

お礼

ありがとうございました。
なんとなく解ったような気がします。

回答No.2

noname#160321

>その油も引き込んでしまうのでは？
当然蒸気圧の高い分子はロータリーポンプの方に行ってしまいます。
なので、間に液体窒素トラップを挿入します。
油拡散ポンプの作動原理は水流ポンプ(アスピレーター)と変わりません。
水流の代わりに作動気体のジェットを使用します。
作動気体は水冷されて液化しヒーターのある底部に戻ります。
ガラス製のヒックマン等ですと三段構えにするのが普通です。
当該温度での作動液体の蒸気圧が下限(真空度の上限)になります。
ですので、起動初期には真空度が悪いです。

回答No.1

dolphino

真空度が高くなってくるほど、一般常識で考えるとドツボにはまります。

真空引き、

この言葉、正しいでしょうか？
引く、とか吸う、とか考えていると理解できません。
減圧の基本は拡散と仕切りです。