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拡散ポンプの動作不良について
- 拡散ポンプの動作不良について質問させていただきます.現在の状況として、ロータリーポンプで粗びきしてから拡散ポンプへの切り替え時に容器内圧力が上昇してしまいます。
- この問題は、真空にさせたい容器内での水漏れや拡散ポンプ及び経路内への水の侵入が原因と考えられます。そのため、拡散ポンプ内や経路中の水分を除去し、ロータリーポンプの油を交換するなどの作業を行っています。
- しかし、ヒーターの不良や他の原因によっても拡散ポンプの動作不良が発生している可能性があります。真空機器についての知識が不足しているため、他に考えられる原因があるかどうか教えていただけると助かります。
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