成膜工程

質問

成膜工程について、アルミの例をあげて説明せよ。
という課題が出されたのですが、、全体的ん流れがよくわかりません。
ネットで探してもよさそうなものが出てこないんです。。
だれか教えてください！！
また、いいサイトがあったら教えてください。

回答No.1

sanori · ベストアンサー

こんにちは。
半導体関連の、元開発技術者です。

ＬＳＩの製造工程では、もっぱらスパッタリングが用いられます。

スパッタリング
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%80%80%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF&lr=

ほかには、

蒸着
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%80%80%E8%92%B8%E7%9D%80&lr=

めっき
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%80%80%E3%82%81%E3%81%A3%E3%81%8D&lr=

以上で十分です。