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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：写真製版工程について）
写真製版工程で使用されるステッパーとコーターデベロッパーの役割とは？
このQ&Aのポイント
- 写真製版工程において、ステッパーとコーターデベロッパーは重要な役割を果たします。
- ステッパーは、ウエハ上にパターンを露光する装置であり、高精度で位置合わせを行い、パターンを再現します。
- 一方、コーターデベロッパーは、露光されたパターンを現像し、不要な部分を削除する役割を担っています。
noname#230358
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noname#230359
回答No.1
ネット上にあふれてます。 コーター・デベロッパー ウェハーにレジストを塗布（コート）＆遠心力で薄く均一に伸ばす（デベロップ） ステッパー ＝ 露光機 焼付けするパターンのマスクを通した紫外線をＩＣ一個分づづ次々（ステップ）とウェハー上を走査していく。
お礼
回答ありがとうございます。 添付のサイトが大変役に立ちそうです。勉強します。