写真製版工程で使用されるステッパーとコーターデベロッパーの役割とは？
- 写真製版工程において、ステッパーとコーターデベロッパーは重要な役割を果たします。
- ステッパーは、ウエハ上にパターンを露光する装置であり、高精度で位置合わせを行い、パターンを再現します。
- 一方、コーターデベロッパーは、露光されたパターンを現像し、不要な部分を削除する役割を担っています。
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写真製版工程について
ステッパーという装置とコーターデベロッパーという装置があると思いますが、この両者はウエハ製造工程においてどのような役割を果たすのでしょうか？ウエハの流れから説明くださると幸いです。 宜しくお願い致します。
- その他（電子・半導体・化学）
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ネット上にあふれてます。 コーター・デベロッパー ウェハーにレジストを塗布（コート）＆遠心力で薄く均一に伸ばす（デベロップ） ステッパー ＝ 露光機 焼付けするパターンのマスクを通した紫外線をＩＣ一個分づづ次々（ステップ）とウェハー上を走査していく。
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- その他（電子・半導体・化学）
お礼
回答ありがとうございます。 添付のサイトが大変役に立ちそうです。勉強します。