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スピンコーターで用いられるスピンコート法を教えてください。
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微小な回路を作製する際の一つの行程で、基板に薄くレジストを塗る方法です。基板を高速で回転させて、回転の中心にぽたっと一滴溶媒に溶かしたレジストを落とします。すると、さーっと周囲に薄く広がり、溶媒が蒸発して、薄いレジスト膜ができるというやり方です。 ちょっとしか書いてませんが、とりあえず「実験物理科学シリーズ4 メゾスコピック伝導」共立、田沼静一・家泰弘編の、p203にあります。
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