- 締切済み
鉄やニッケル鉄などを気化させる
いわゆる半導体製造時等に出てくる話なんですが フォトレジストでマスクされた部分以外をイオンプラズマ エッチングする方法として、 鉄などの重く何と反応しても気化しずらい物質をエッチング する場合どういったガス系が考えられますかね？ 文献によると ＣＯ+アンモニア 系のガスで、炭酸鉄みたにに させて気化させる方法が一応あるらしんんですが・・ どなたか知ってる方回等お待ちしていますｍ（＿
- CP20
- お礼率52% (31/59)
- その他（ビジネス・キャリア）
- 回答数1
- ありがとう数1
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
- tyty7122
- ベストアンサー率31% (238/764)
ネット検索してみると良い。 キーワードは、CVD、ALDあたりであろう。 ちなみに鉄であればFe(CO)5、ニッケルであればNi(CO)4は僅かであるが揮発性がある。しかし毒性が高いので取り扱いには専用の設備と専門知識が必要である。
関連するQ&A
- エッチングについて教えてください。
シリコン・ウエハーをKOHエッチングし、薄膜を製作した過程です。 １．窒化ケイ素のLPCVD析出． ２．被膜（レジスト層）をスピンコーターで製膜し、露光、現像する． ３．プラズマで窒化ケイ素をエッチングする． ４．被膜（レジスト層）を取り除く． ということらしいのですが、どういうことなのでしょうか？ いろいろ調べたのですが全く分かりません。 エッチングというものは、加工する材料の表面を腐食させる方法？という大雑把なことしか分かりません。 よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- 化学
- 蒸気圧と結合エネルギー
Siをプラズマエッチングする際、一般的に用いるガスとしてはHBr, F系(SF6,CF4), Cl2が挙げられますが、 蒸気圧(SiCl4,SiF6,SiBr4)と、結合エネルギー(Si-Cl,Si-Br,Si-F,Si-O)のそれぞれの大小関係と数値を調べたく考えております。 どこかに良い文献などありませんでしょうか？
- ベストアンサー
- 化学
- 無機錯体の合成
無機錯体の合成 [Co(en)2(CO3)]Clを次の手順で合成するとします。 (1)水＋エチレンジアミンに炭酸ガスを吹き込む。 (2)これにCoCl2・6H2Oを加える。 (3)氷冷下でH2O2を加える。 (4)加熱する。 (5)冷却したら水酸化リチウムを加える。 (6)室温で撹拌して得られた結晶にメタノールを加えて氷冷する。 (7)沈殿物をろ過して集める。 (8)沈殿物はメタノールで洗浄する。 かなり省略しながら書きましたが、大まかにいえばこんな感じです。 ちなみに、すべての段階で炭酸ガスを吹き込みながら反応させます。 質問１ (3)でH2O2を加えた理由 質問２ (5)で水酸化リチウムを加えた理由 質問３ (6)でメタノールを加えた理由 質問２については、水酸化リチウムはCO2吸着剤としての性質があると 文献にありました。CO2が反応に関与していることは明らかなので、 そのCO2を吸着するために水酸化リチウムを用いたのかな、と考えましたが そもそもこの考え方はあっているでしょうか。 答え知りたいのはもちろんですが、このような無機錯体合成について詳しく 学ぶことのできる文献等も探しています。 知っている方がいましたら、あわせて紹介もよろしくお願いします。
- ベストアンサー
- 化学
- 炭酸カルシウムの均一な結晶を合成したい。
炭酸カルシウム結晶を合成して光学顕微鏡で結晶状態を観察するため、塩化カルシウム＋炭酸ナトリウム反応法で合成を行いました。 室温下では細かい結晶が凝集して個々の粒子径もばらばらで同じように出来ません。 また別に均一な合成法として均一沈殿法（東海大理学部化学科松田研）をＮＥＴ上で見つけたのですが、この方法の条件などが詳しく載っている文献、本、のタイトルをどなたか知りませんか。 その他大きさのそろった結晶の合成方法を御存知の方はアドバイスお願いします。 できれば結晶の粒径は観察しやすい10μｍ以上できれば50μｍ以上位は欲しいところです。 関心のある方のためにのせます。 調べたところ合成してできる炭酸カルシウムは沈降性炭酸カルシウムと言うらしいのですがこの製造法は １ 水酸化カルシウム＋炭酸ガス反応法 Ca(OH)2+CO2→CaCO3+H2O ２ 塩化カルシウム＋炭酸ナトリウム反応法 CaCl2+Na2CO3→CaCO3+2NaCl ３ 水酸化カルシウム＋炭酸ナトリウム反応法 Ca(OH)2+Na2CO3→CaCO3+2NaOH などが代表的な製造方法です。 取り合えずまだ２の方法しか行っていません。
- 締切済み
- 化学
- 炭酸ガスによるPHの中和処理
皆さんお世話になります。 現在、炭酸ガスによるPHの中和処理を試みているのですが、現状の方法よりも効率よく行うことをお客様より申し付けられております。 目的としては、炭酸ガスの使用量を大きく削減することですが、現状の方法で充分効率よく、行っているような気がしており、その根拠を示すことに苦慮しております。 そこで、皆々様に現状の方法が本当に効率よく行われているかどうかを理論的な裏づけで教えていただきたくご質問を差し上げました。 何卒、宜しくお願い致します。 目的：池の水のPH9.5～9.0を6.5～6.8にまで下げる。 中和手段：炭酸ガス 現在の使用量：炭酸ガス３０kgを1.5日で消費 一日の処理時間：９時間 処理水量：35㎥/時間 炭酸ガス投入量：2.2kg/時間 上記状態で、PHを目的の値まで下げております。 処理の根拠となる式 pHnで流量Q（m3／H）の濁水を中和するのに必要な炭酸ガス量は、以下の様に計算される。 濁水のpHがnであるとき、 濁水中の水素イオン濃度〔H+〕=10-n（mol／L） 水中の水素イオン濃度〔H+〕と水酸イオン濃度〔OH-〕との間には、 〔H+〕〔OH-〕=10-14なる関係が成立するから、 〔OH-〕=10-14／〔H+〕=10-14／10-n=10-(14-n)（mol／L） アルカリ水の中和には〔OH-〕に相当する量の〔H+〕の添加が必要である。 ここで、炭酸ガスは CO2＋H2O→H2CO3 Ca(OH)2＋H2CO3→CaCO3↓＋2H2O のように2段階で反応し、さらに余剰の炭酸ガスにより、 炭酸カルシウム（CaCO3）の再溶解CaCO3＋H2CO3→Ca(HCO3)2が生じる。 炭酸ガス1モル(44g)は、2モルのH+に相当するため、1モルのOH-を中和するのに必要な炭酸ガスは、44g／2=22gとなる。 しかしながら、CaCO3の再溶解反応に消費される炭酸ガスを考慮すると、 pHnで流量Q（m3／H）の濁水の中和に必要な炭酸ガス量Xは反応効率をα%とすると、 炭酸ガス量：X= Q*10^-(14-n)*2*22*(100/α)[kg/h] この根拠では、PHを9、Q＝50m3、αを40としており、 炭酸ガス使用量：Ｘは0.055[kg/h]となります。 しかしながら、実際には2.2kg/時間と40倍近く必要としており、根拠が前提として間違っていると感じております。 上記式では、水酸化カルシウムCa(OH)2を中和しておりますが現地ではそうではないと考えております。 もちろん他の阻害要因は考慮しなければなりませんが、ただの水のPHを下げるだけでも、かなりの炭酸ガスが必要と感じております。 そこで炭酸カルシウムを反応させて中和するのではなく、単純にPHを炭酸ガスで下げるのには、どのくらいの量が必要でしょうか？ 大変、苦慮しておりますので、何かヒントもしくは、根拠の手がかりとなるものでも構いませんので、どなたかご知見をいただけますよう何卒宜しくお願い申し上げます。 長々と書き上げ大変、読み難いかと存じますが、何卒宜しくお願い申し上げます。 中和処理の根拠 http://www.enex.co.jp/kankyo/0402.html
- 締切済み
- 測定・分析
- キレート滴定で沈殿生成
炭酸カルシウム飽和溶液（Ca(HCO3)2溶液）中のカルシウムイオンの濃度を測定したいと考え、EDTAによるキレート滴定を行ないました。 しかし、透明な飽和溶液に緩衝液を滴下すると、白色沈殿が生成してしまいます。 文献等で調べましてもそのような記述はなく、沈殿ありのまま滴定を行なっても、指示薬の色が変化しません。 この沈殿物の正体はなんなのか、どうすれば沈殿が生成しないのか、ご存知な方がいらっしゃいましたら是非教えてください。 Ca(HCO3)2溶液は、炭酸カルシウムの懸濁液に常温で炭酸ガスを吹き込んで調整しています。 緩衝液は、塩化アンモニウム7g + アンモニア水57ml + H2O =100ml として調整し、pHは10.3です。 指示薬はEBTを使っています。 よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 化学
- 半導体物理の問題です。
μ=e/(mγ)という数式から、半導体の移動度が算出できるそうなのですが、文献値を計算しても、数値が合いません。ここで、μは、移動度[cm^2/Vs]、eは素電荷（1.6e-19[C]）、mは、電子の有効質量(m=0.23m0で、m0=9.1e-31[kg])、γは、プラズマ振動の減衰率とのことです。（単位は、おそらく、CGI系です。）文献値では、γ=100[cm-1]のとき、μ=460[cm^2/Vs]になると書いています。 どなたか、計算方法のわかる方がおられましたら、教えてください。
- 締切済み
- 物理学
お礼
ありがとうございます。 ネット検索して大変参考になりました。