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XPSの精度について
128yenの回答
薄膜など薄いもので測定したことはないのであまり自信がありませんが 数原子層だとノイズが多くなるかもしれませんね。 機械的なものか材料的なものかを判断するには、 蒸着される前に下地の金属のXPSを測られてはどうでしょう? 下地の金属ならかなり強い強度が出るでしょうから、これで ノイズがあまりなければ装置は問題なしということになります。 これでもノイズが出るのなら明らかに装置がおかしいでしょう。 ノイズの多い場合は20回で終わらせずに50回、100回、200回と やってみられてはどうでしょうか?(かなり時間がかかりますが) 私は50回が最高ですが、先輩方は200回とか取られたことあるようです。 エージングは、X線(フィラメント)の準備運動とでもいえばいいでしょうか? 波形分離など細かいデータを取る時には、やっておいた方がいいでしょうが survey scanとかならやる必要はないと思いますが。。。 たしかに定量って難しいですよ。一番いいのはXPSだけでなく、同じチャンバーに その他の装置もついている(たとえばAES)と2方向から定量できるので いいと思いますが。(お金の問題で無理かもしれませんね)
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