XPSピーク

質問

XPSのピークについてですが、２枚の試料にそれぞれ異なる処理を施した後に、XPSにより測定を行ったのですが、P（リン）のピーク強度（ピーク高さ）に差がでました。これは試料に対するPの量に依存しているからなのでしょうか。それとも、XPSではこのような原子の量での議論は行えないものなのでしょうか。あまり詳しくないのでご回答お願い致します。

回答No.1

wild_herbs · ベストアンサー

こんにちは

私は専門家ではないのであくまで参考程度に思ってください
私も以前XPSで組成分析を依頼したことがありまして
その場合あらかじめ組成が明らかなものを測定し
どれほどの誤差が生じるかを調べた記憶があります(検量線みたいなもの)
測定データにどれほどの信憑性があるかは分かりかねますが
絶対的なピーク強度を比較するより何かを基準とした
相対的な強度を比較する(規格化)方がいいのかも知れませんね
もちろん基準とするのは二つの試料間で不変と思われる値ですけど(あればです)

あくまで私見ということで

お礼

基板のピークが同じ位置であり、ピーク面積もほぼ等しかったため、これを基準に比較したところわずかな差が現れました。ご回答ありがとうございました。