XPSの分析結果における強度比とは？

質問

[XPSの分析結果におけるＯ1s/Ｃ1s強度比（測定角80度）の変化]という記述があるのですが、強度比と測定角について教えてください。強度比だけでも結構なので宜しくお願い致します。

回答No.1

gator · ベストアンサー

強度比とありますが、恐らく生データの強度を比べても意味がないので、
原子数比を行っていると思います。その求め方は参考URLで説明
していますので、見て下さい。

測定角も重要なポイントです。まず、X線の入射ですが、X線は試料の
表面からμmのオーダーで侵入します。で、出てくるのが光電子ですが、
こちらは脱出深さが高々数nm程度です。測定角とは、取り出し角とも言って、
検出器を表面に対してどの角度にするかということです。
Take off angle(TOA)とも書きます。表面に対し何度かで定義する
こともあるし、法線に対しの場合も有るので、注意してください。
仮に、表面からだとすると、 80度というと垂直に近いので、
脱出深さそのものの深さからの情報を見ていることになります。
一方、例えば測定角15度とか、浅い取り出し角の場合、Sinθをかけて、
つまりごく表面の情報だけを見ていることになります。
測定角を振って調べることにより、その元素が表面だけにあるのか、
奥の方にもあるのかといった議論ができます。

以上

参考URL：

http://oshiete1.goo.ne.jp/kotaeru.php3?q=405544

お礼

有難う御座います。大変勉強になりました。