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アニールについて

 結晶など試料を作成したあとにアニールをすることがあると思いますが、アニールをする理由がわかりません。  アニールにはどんな方法があるのか、それぞれの方法でどんなことができるのかを教えてください。よろしくお願いします。

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回答No.1

アニールをする理由は、そうすると結晶性がよくなることが多いからです。 理由は、詳しくは分かりませんが、原子が熱エネルギーをもらって、活性化されて、結合が再構築されるんだと思っています。 ただ、周りに不純物があると、それらと結合してしまい、酸化したり、変な化合物を作ったり、拡散して、デバイスの界面をぼやけさせたりします。 なので、アニールは真空中でしますし、必ずしもよくなる場合だけではありません。悪くなる場合もあります。 アニールは、じっくりヒータ加熱で行うものから、赤外線系のランプを集光して、瞬間的に数分で終わらすものもあります(これはアニールというかフラッシング)。 というのも、時間をかけると拡散が生じたりするので。 また、加熱方法には、マイクロ波加熱(電子レンジみたいなもの)などもあります。 他にも用途に応じていろいろあるので、調べてみて下さい。

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