ピラニ真空計の故障

質問

ulvac製ピラニ真空計GP-2T型を使用しているのですが、高真空に引いているはずなのに目盛の表示が
Lレンジで0.1Torr～0.05Torrの間でとまってしまい、それ以上動かなくなってしまいます。確認しましたが、ロータリーポンプ等の故障ではありませんでした。
型番が違ってもかまいませんのでピラニ真空計についての知識がある方がいらっしゃいましたら是非対処法を教えてください。

回答No.3

ie-

ロータリポンプの到達圧は、～10-2Paですね。
torrではなくPaを使用した方がよいですよ。

回答No.2

masa-det

こんにちは、piraninさん。

>ulvac製ピラニ真空計GP-2T型を使用しているのですが、高真空に引いているはずなのに目盛の表示が
Lレンジで0.1Torr～0.05Torrの間でとまってしまい、それ以上動かなくなってしまいます。

0点調整はなさいましたか？。自分も以前、仕事の関係でULVAC社製のピラニーゲージ(型番は忘れてしまいました。)を用いましたが、0点調整が『30分間真空引きし・・・』と手間がかかり、手を出し切っていなかったような気がします。説明書等で確認してみて下さい。

>確認しましたが、ロータリーポンプ等の故障ではありませんでした。

ロ－タリーポンプで真空引きしているのですか？ロータリーポンプだと、0.1torrレベルまでが限界のような気がするのですが・・・(専門家の回答を期待したいです)
あと、配管などが細かったりすると、なかなか真空引きしきれないという話を聞いたことがあります。系のハード面も確認してみて下さい。

回答No.1

kyoromatu

トラブルチェックリストご覧下さい

ヒューズなど切れてませんか?

判らないときはメーカーに問い合わせ電話するのが結果的に早いです。

参考URL：

http://ulvac-es.co.jp/poroducts/index_gage.html