セラミック板の洗浄方法とは？

2009/03/25 14:34

このQ&Aのポイント

セラミック板の洗浄方法について、質問させていただきます。ある半導体工程で使われるセラミック板の平坦度（研磨）を保つために、洗浄が必要とされています。経年劣化によりプローブ針の材料（銀色）がセラミック板に積層することがあり、再利用するためには洗浄が必要です。京セラによると、洗浄だけで銀色の積層を除去できるそうですが、具体的な洗浄方法については教えてもらえなかったとのことです。
セラミック板の洗浄方法について、ご経験者の方に教えていただきたいです。ある半導体工程でプローブ針の平坦度（研磨）を保つために、セラミック板の洗浄が必要となります。経年劣化によってプローブ針の材料（銀色）がセラミック板に積層し、再利用するためには洗浄が必要とされています。洗浄方法については京セラに確認したところ、洗浄だけで銀色の積層を除去できるとのことでしたが、具体的な洗浄方法は教えてもらえませんでした。
セラミック板の洗浄方法について、教えてください。ある半導体工程で使われるセラミック板の平坦度（研磨）を保つためには洗浄が必要です。経年劣化によりプローブ針の材料（銀色）がセラミック板に積層することがあり、再利用するためには洗浄が必要です。京セラによると、洗浄だけで銀色の積層を除去することができるそうですが、具体的な洗浄方法は教えてもらえませんでした。洗浄方法に詳しい方、ご教示ください。