半導体用シリコンのドープ材判別方法を探る
- シリコン廃材に含まれるドープ材の種類を判別する方法を探しています。
- ボロン、砒素、燐、アンチモンの種類を限定したいのですが、簡単な測定は難しいでしょうか。
- 半導体用シリコンのドープ材を特定するための効果的な手法を教えてください。
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半導体用シリコンのドープ材判別
シリコン廃材（ルツボ残・インゴットのトップ＆テイル）などに含有している ドープ材の種類を判別する方法を探しております。 ボロン、砒素、燐、アンチモンの種類を限定したいのですが、 簡単な測定では、難しいでしょうか。
- 測定・分析
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サイズが充分あるインゴットならば Ｘ線解析や電子線マイクロアナライザで同定できます。 装置がある施設に依頼すれば、数日で結果が出ますが 半導体ドープ程度の濃度だと10万円単位でとられるかも。
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