超純水用ポンプについて

質問

半導体ウエハー洗浄の実験で、超純水をポンプで圧送したいのですが、
下記条件に適したポンプがあれば、ご教示いただけないでしょうか。

ポンプメーカーや型式、適した材質・構造等に関する情報についても
ご教示頂けると幸いです。

どうぞよろしくお願い致します。

（条件）
　・パーティクルや金属溶出が無い（ほとんど無い）
　・脈動圧が無い（小さい）
　・流量：5～20L/min、吐出圧力：0.25～0.5MPa、温度：常温

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

前にイワキポンプから「レビトロポンプ」というインペラがポンプ室内でフローとして回転するポンプの紹介を受けました。半導体製造工程にどうでしょうかという触れ込みでしたが、仕様が手元にありません。また、HPにも見つかりません。営業の方に問い合わせてみてはいかがでしょうか？
わからないことだらけの回答で申し訳ありません。ご参考になれば幸いです。

お礼

ご回答ありがとうございます。

?イワキのHPに磁気浮上型渦巻ポンプ（レビトロポンプ）の概略仕様は
掲載されていました。
無発塵、無脈動が魅力的ですね。

詳細な仕様をメーカーに問い合わせて、検討させていただきます。

回答No.4

noname#230359

下記のH.Pに、貴社でお探しの最適なポンプがあります。

http://www.me-giken.jp/

参考URL：

http://www.me-giken.jp/

お礼

ご回答ありがとうございます。

選択肢の一つとして、検討させて頂きます。

回答No.3

noname#230359

ポンプの後に、アキュムレータ（ポンプメーカにあります）
を取り付けて脈動を抑えたりしますが、完全ではないため、
それ以上の要求であれば、ポンプ圧送は、あきらめて、
窒素加圧による加圧圧送がいいのではないでしょうか。

お礼

なるほど、アキュムレータという物があるのですね。
窒素加圧圧送も検討してみます。

どうもありがとうございました。

回答No.1

noname#230359

日本ピラーのベローズポンプは、どうでしょうか参考にしてみて下さい。
http://www.pillar.co.jp/contents/products/pfh_bellows.shtml
私は、薬液供給に使っています。金属イオンは、溶出していません。

お礼

ご回答ありがとうございます。

若干の脈動はあるようですが、空気圧駆動ってとこが魅力ですね。
選択肢の一つとして検討させて頂きます。

重ねて質問させて頂き恐縮ですが、脈動をさらに抑える方法をご存知でしたら
教えていただけないでしょうか？