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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：オゾンを含む薬液に使用できるOリングを教えて下さい）
オゾンを含む薬液に使用できるOリングを教えて下さい
このQ&Aのポイント
- 半導体の工程でオゾンを含む薬液に使用可能なOリング又はシール材を教えて下さい。
- 軸シールで使用するため、テフロンやメタルは使用できません。
- オゾンを含む薬液に使用できる特殊な材料から作られたOリングをお探しですね。半導体の工程で使用可能な材料として、ケムラック社の特殊なポリマーを使用したOリングがあります。これらのOリングはオゾンや他の有害な薬液に対して優れた耐性を持っています。お問い合わせいただければ、詳しい情報を提供できます。
noname#230358
- その他（電子・半導体・化学）
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みんなの回答
noname#230359
回答No.4
非常に高い濃度のオゾンガスの場合は「ＰＴＦＥ」のＯリングを使用します ＰＦＡの成型部品を使用することもあります Ｏリングの設計値を工夫する必要があります（ＪＩＳはゴムの場合の数値です）ので注意してください
noname#230359
回答No.3
メタルO-リングなど如何ですか。
noname#230359
回答No.2
下記商品名が使用されていると思います。オゾンを含む薬液（薬液の種類にもよりますが）詳細は下記商品にて検索されるのが、よろしいかと。 パーフロ/カルレッツ/ケムラッツ
noname#230359
回答No.1
Ｏリングについては素人ですが、テフロンが間違いないと思います。 参考にして下さい。
- 参考URL：
- http://www.packing.co.jp
