- ベストアンサー
シリコンウェハ作製法のCZ法とFZ法
bay20の回答
CZ,FZともに単結晶インゴットを作成する方法です。 まずCZ法ですが,Czochralski法の略で,簡単に言うと石英のるつぼに多結晶シリコンを入れ,加熱融解し,そこへ作成したい方位の種結晶を入れ,同じ方位の単結晶を引き上げる方法です。名前は発明者の名前に由来します。 FZ法はFloating Zone法の略で,棒状多結晶シリコンの下に種結晶をつけ,誘導加熱で種と多結晶の境界あたりを融解し単結晶化する方法です。 CZ法の利点は大口径結晶が作りやすいこと,欠点はシリコンの融液が石英と接触しているため不純物(主に酸素)が混入することです。FZに関してはこの逆だと お考えください。ただし,適量の酸素がシリコンウェエーハ中に入っているとウェーハのの強度が増す等の利点があるため,酸素に関しては悪いことだけではありません。 CZに関しては下記urlに,FZに関してはこの段落の下にあるurlに写真が掲載されています。 http://www.komsil.co.jp/progress/progf.htm
関連するQ&A
- IGBTのウェハーについて
IGBTを製造するためのシリコンウェハーについて、ご存じでしたら教えてください。 IGBTにはFZウェハーしか使えないためにウェハーの大口径化が難しく、現状では5インチウェハーで製造されていると聞きました。もしCZウェハーが使えるならば大口径化が可能になり、コストダウンが可能になります。 なぜCZウェハー+エピではIGBTを作ることができないのでしょうか。
- ベストアンサー
- 物理学
- シリコンウエハを探しています
シリコンウエハの購入先を探しています。 Via基板と呼ばれる特殊なシリコンウエハで、 直径100nmのviaが空いている基板です(段差基板とも言うそうです)。 ご存知の方がいらっしゃいましたら是非教えてください。 宜しくお願いいたします。
- 締切済み
- 電子部品・基板部品
- シリコンウェハについて。
素人なので教えてください。 シリコンウェハについてなのですが、 成分はシリコンだけなのでしょうか?それとも 他に重金属類とか入っているのでしょうか? よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 化学
- シリコンウエハの購入について
始めまして、シリコンウエハの購入について教えてください。 Si(111)と(100)の0.3?のウエハを探しているのですが、どこか購入できるところをご存知ではないでしょうか。 もし何かしらご存知でしたら、教えていただければ嬉しいです。 よろしくお願いします。
- 締切済み
- 電子部品・基板部品
- シリコンウエハーはどこで手に入りますか
開発の段階ですがシリコンウエハーを使用して実験をしてみたく思っています。 所が、シリコンウエハーはどこから手に入れてよいか判りません。 どなたか入手方法をご存知の方教えてください。取敢えずは2,3枚程度。 秋葉原には売っていませんでした。お願いします。
- 締切済み
- その他(電子・半導体・化学)
- シリコンウェハについての質問です。
シリコンウェハについての質問です。 シリコンウェハにはp型とn型がありますよね。 それぞれの違いについて、含まれる不純物が違うというところまではわかったのですが、 具体的にどのように性質が違うのかを教えてください。 ちなみに私は、シリコンナイトライドを製膜したシリコン基板を ドライエッチング、ウェットエッチングを用いて薄膜にして その薄膜にナノポアを開けてデバイスにするという作業を行っています。
- ベストアンサー
- 物理学
- シリコンウエハの相場
現在Siウエハの相場を調べてます。 恐れ入りますが、下記のウエハの相場を教えてください。 シリコンウエハ相場 5" 6" 8" 12" 宜しく御願いします。 ワカト様 御回答ありがとうございます。 購入されたウエハですが、 1枚ずつ購入されました?それとも何枚かロットですか? また、ウエハの種類は、一般的に言われるプライムウエハでしょうか? ウエハといっても色々あるみたいでして、SOIとかなんとかですが、 本当にありがとうございました。 それでですが、この様な情報はどの様に 探し当てて頂いているのでしょうか? ワカト様のお手を煩わせないようにしたいのですが、、、、、、
- 締切済み
- その他(電子・半導体・化学)