誘電率と配線遅延の関係についてのシミュレーション

質問

半導体デバイスで、絶縁膜の誘電率の値が変わったときに、
デバイスにおける配線遅延がどれくらい変化するかを、
数種のデバイスの構造ごとにシミュレーションしたいと考えています。

どういったシミュレーションソフトを用いればいいでしょうか？
SPICEなどいわゆる回路シミュレーションでできるでしょうか？

よろしくお願いいたします。

回答No.1

178-tall

どの程度の精度でシミュレートするかによりそうです。

均一線路で近似する程度なら、一次 / 二次定数を与えて、SPICE 。
傾向は把握できるでしょうね。

配線構造と媒質定数を与えてシミュレートするのなら「電磁界解析」などの EDA 。
こんなのもあります。
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　http://www.cybernet.co.jp/orcad/product/substrate/sigx.html
>伝送線路シミュレータ： OrCAD Signal Explorer