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low-k絶縁膜について
現在、参考書を読んでいて疑問に思っていることが二点あるので出来れば教えてください。 1.low-k材料のkとは消衰係数のことですか？低誘電率絶縁体を表す際にlow-kと書いてあったのですが、これはlow-εと考えていいのでしょうか？ 2.絶縁膜では着色によってデバイスの性能が落ちると書いてあったのですが、これは光の吸収によって励起された電子が伝導に寄与してしまうからですか？ 以上長くなりましたがよろしくお願いします。
- umaibocheese
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noname#160321
回答No.1
>低誘電率絶縁体を表す際にlow-kと書いてあったのですが… 電磁気学は弱いので確実なお答えではないのですが、材料屋からするとlow-kで「低誘電率」という意味に使っております。 メソポーラスシリカなどが頻繁に使用されております。↓ http://techon.nikkeibp.co.jp/article/WORD/20060127/112758/ 着色に関しては存じません。
お礼
ありがとうございます。low-kのkは誘電率を表しているということですが、なぜεを用いないのでしょうか？
補足
ありがとうございました。 物理の方にもう一度質問してみます。