熱式質量流量計に関する質問です。

質問

熱式質量流量計に関する質問です。

気体（窒素）の流量を計測したいのですが、流量には体積流量や質量流量がありますよね？
体積流量の場合だと、圧力や温度によって変化するので、圧力や温度による補正が必要ですが、質量流量を熱式質量流量計で計測する場合は、その補正が必要ないと本で読みました。

しかし熱式質量流量計の原理式は、

W=Q×?T×C
(Q:質量流量　?T:二つのセンサ間の温度差 C:定圧比熱 W:流体を加熱するヒータの電力)

であり、原理式に定圧比熱が入っているので、圧力によって出力が変化するのでは？と思ったのですが、どうなのでしょうか？圧力による補正が必要なのでしょうか？
初めてのことなので、よくわかりません。ご教授ください。

回答No.1

mienaikuuki · ベストアンサー

流量計の測定部は面積が決まっていますよね
流す流体が決まっているからあらかじめ演算素子に流す流体の比熱がセットされています。
圧力が高ければ通過する密度が高いことになり流量も多くなります。
通過する密度が高ければセンサーから奪い取る熱量も多くなります。
この熱量を計測して質量流量を計算で求めるので圧力補正は不要になります。
温度に関しては元々測定しなければ測定にならないので測定しています。

表示する体積流量は求めた質量流量を指定の圧力、温度の体積に換算しているだけです。
だから指定された流体を測定するなら補正は基本的に必要ありません。
違う流体を流すなら当然比熱が異なるので補正が必要になります。

市場に出回っている体積流量を表示するものは一定の圧力、温度に換算したものを
表示しています。これは質量流量を表すのと基本的に同じ意味合いといえます。