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EPMAとSEM
EPMAとSEMの正式な違いを教えてください。 EPMAはWDS付けたSEMという認識でいいんでしょうか？ （つまりSEMとEPMAは基本的には同じということでいいんでしょうか？）
- sakanatako
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EPMA, SEM, WDSという言葉をご存知なのですから，略語の説明は 無くてもよろしいですね。 EPMAはWDSを付けたSEMという認識は間違ってはいないと思います。 両者は，これまで装置の構造，電子銃などで区別されてきたものでは ありましたが，最近では単純には割り切れなくなっています。 EPMAは特性X線の波長分散を分光結晶を利用して得ているために チャンバーが巨大であり，これが通常のSEMと区別される最大の 特徴となります。一方，より空間分解能の高いSEMにはFE電子銃が 搭載されており，これらのことが両者を区別するよりどころと なっていました。つまり，EPMAが有するSEM機能は，簡易型の SEM程度というのが一般的でした。 EPMAでW電子銃を使うことが多いのは，特性X線の広がりがμmオーダ となりますので，空間分解能を高くしても意味が無いという理由に よりました。この理由については現在でも変わったわけではないの ですが，最近ではFE-EPMAというものも出現してきて，両者の垣根が 低くなったようです。ナノスケールの薄膜など，観察対象の幅が 広がって来たり，FIBによるサンプリングが容易になってきたことも 関係しているでしょう（試料が薄ければ特性X線の広がりはあまり 大きくはなりませんので，空間分解能を追求する意味が出て来ます）。 WDS機能に空間分解能を求めたというよりも，WDSとして軽元素までの 分析する能力を備えるとともに，空間分解能の高いSEM観察も可能で あるという一挙両得的に捉えることもできると思います。 蛇足ですが，FIBにSEM機能が付加されたり，STMにSEM機能が付いたり する例が結構あるようです。
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