半導体プロセス技術の入門書を紹介してください。

質問

こんにちは。化学専攻の大学院生です。
先日、某半導体メーカーから内定を頂き、
プロセスエンジニアとして採用される予定です。

大学院では軟X線光化学の研究をしており、
X線リソグラフィなどの次世代技術に非常に興味を持っているのですが、
正直言って半導体の知識はあまりないというのが現状です。

そこで、これから就職までの1年以上の期間を使って、
前もってプロセス技術について勉強しておこうと思い、
適切な入門書を教えていただきたく質問いたいたしました。

ちなみに秀和システムから出版されている一般向けの本はすでに読んで、
プロセス技術の基本的な概念はなんとなく理解しているつもりです。
（『これで半導体の全てがわかる！』と『よくわかる最新半導体の基本と仕組み』）

今のところ、工業調査会から出版されている以下の2冊を候補に考えています。

・はじめての半導体プロセス（前田和夫著）
・はじめての半導体ナノプロセス（前田和夫著）

名前が微妙に違うんですが・・・
もしこれらの違いなどもわかる方がいれば教えていただきたいです。

よろしくお願いします。

回答No.2

sanori · ベストアンサー

お邪魔します。
半導体技術業務の経験者です。
まずは、内定獲得おめでとうございます。

さて、

プロセスエンジニアリングは、ノウハウの世界なので、会社に入ってから学ぶ事柄が多いです。
すでに、ＬＳＩ製造工程のストーリーは把握されているようですから、それで十分ではないかと思います。

むしろ、勉強をお勧めしたいのが、
１．ＭＯＳの基礎
２．半導体評価・測定技術（ＳＥＭ、ＴＥＭも含む）
の２点です。

１は、プロセスのノウハウとＭＯＳＦＥＴの特性との関連性を知る上で必須です。
プロセスエンジニアリングというものが、そもそも何のためにあるか、という原点に立ち返った考え方ができるようになります。

２は、プロセスを評価するにしても、工程・装置の管理をするにしても、ＬＳＩの動作を評価するにしても、非常に重要です。望ましくは、主要な評価に用いられる装置については、原理も勉強しておきましょう。

プロセス関連の知識習得だけを念頭に置いても、職場であなたが輝くことはできません。
どうせプロセス関連の知識は、否が応でも習得せざるを得ない環境に置かれます。

「こいつ、なかなかやるな／知ってるな」
という印象を与えるには、直球だけでなく変化球の種類を増やすことが大事です。
そういうことによって、職場全体のレベルが上がっていく、という意味もあります。

お礼

貴重なお話をありがとうございます！周辺知識の深さが大切なんですね。確かに、これまでの大学院での研究生活を振り返ってみても仰る通りだと思います。周辺知識という意味では、せっかくの化学系出身なので、まずは半導体製造材料について勉強しようと考えていました。１のデバイスの知識はやはり必須ですよね・・。２の半導体評価・測定技術については何かオススメの入門書はありますか？

回答No.3

sanori

再びお邪魔します。

自宅の中をあちこち探したら、見つかりました！

「一〇〇例にみる　半導体評価技術」宇佐美晶著
http://books.yahoo.co.jp/book_detail/05313617
２０年も前の本ですが、今でもちゃんと役立ちます。
１つ１つの評価技術につき、それぞれ２ページ程度だけ説明した、言わば、半導体技術の「カタログ本」と言える書籍です。
詳しいことになると、個別の技術についての専門書を読むことになるのですが、それは図書館でできることだと思います。（ネットでもある程度調べられることでしょう。）
英語の勉強において単語を覚えるのが重要なように、まずは評価技術の名称・用途・原理の概略を次々と覚えておくのがよいと思います。
ですけど、各々２ページとはいえ、結構、手ごたえがありますよ。

お礼

わざわざ探して下さってありがとうございます！新品はすでに絶版になっているようなので、古本で探してみますね。これまで化学しか勉強してきてないのに分野外の半導体メーカーに就職、というのは非常に不安ですが、スタートで出遅れないためにも、今のうちに頑張っておきたいと思います。

回答No.1

noname#160321

>はじめての半導体ナノプロセス（前田和夫著）
こちらは品切れかも、紀伊国屋さんのサイトでは見つかりません。
>はじめての半導体プロセス（前田和夫著）
ビギナーズブックス〈１７〉
はじめての半導体プロセス
ISBN:9784769311928　３１０ｐ　２１ｃｍ（Ａ５）　工業調査会 (2000-12-10出版)　前田　和夫【著】[A5 判] NDC分類:549.8
販売価:\2,415(税込) (本体価:\2,300)
半導体プロセスとはシリコンウェハから半導体チップを製造する過程のことである。
本書では、半導体プロセスを基本要素に分けた基本プロセスと、それらの組合せで構成されるプロセスモジュールを中心に半導体プロセスについてわかりやすく解説する。
単なる技術解説にとどまらず、半導体プロセスの考え方から、歴史、これからの方向など著者ならではの示唆に富んだ内容となっている。
既刊「はじめての半導体製造装置」の姉妹編。
第１章　はじめての半導体プロセス
第２章　半導体デバイスの種類と構造
第３章　半導体プロセスの技術史
第４章　半導体プロセスの概要
第５章　基本プロセス技術
第６章　複合プロセス技術
第７章　プロセス技術と装置・材料
第８章　新しいプロセス技術のニーズ
第９章　これからの半導体プロセス

お礼

回答ありがとうございます。
でも申し訳ないのですが目次程度はすでに調べていますので・・・。

これからプロセスエンジニアとして働くにあたって、まず最初に持っておくべき一般的な知識を得るにはどちらの本を勉強するのがよいのか、アドバイスをいただきたかったのです。

もちろん上記以外の本でもかまいません。よろしくお願いいたします。