不純物半導体に添加する不純物の濃度

質問

不純物半導体を作製時にSiウエハに不純物を注入しますが、
基本的にどの程度の量(濃度)を注入するのでしょうか？
出来たら濃度をppmやppbで表して貰えるとありがたいです。

回答No.1

c80s3xxx

ふつうはドープ濃度は cm-3 とかで示しますわな．1cm3 あたりに「何個」のドナーなりがあるか，って数え方で．ppb とかは何をドーパントにしたかで変わっちゃうけど，cm-3 で示すドープ濃度ならそういうこともなくて，有効なドーパント濃度で統一的に示せるから，物性を議論するときに便利だし．
で，まあ，用途にもよるけど，10^15～16 cm-3 くらいじゃないすかね．
10^18 cm-3 くらいになると，ふつう?には使えないくらいの高濃度のドープって認識になるんではないですかね．

お礼

どうもありがとうございます。大変参考になりました。