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SOGで絶縁性の膜?

2004/11/13 15:22

SOGという薬品(?)で絶縁性の膜を作ることができると聞きました。1．SOGとは何ですか?2．温度を高くしないといけないらしいですが何度くらいにしなくてはいけないのでしょうか?

Honda0314
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物理学
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BACKHAND
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2004/11/13 22:37 回答No.1

SOGは、Spin On Glassの略で、薬液（溶媒中にSiO2系原料を溶かしたもの）をスピン塗布（Siウェハ上に薬液をたらしながらウェハをスピンさせて全面に塗布する）させ、その後、溶媒の揮発+化学反応させるために、約400℃ ぐらいに加熱させて、SiO2絶縁膜を形成します。

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