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干渉縞による膜厚測定
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干渉縞が出来るような膜と言うことなので、 膜厚の"分布"を調べる方法ではないでしょうか？ もちろん膜厚の程度が分かっていなければダメですし、絶対値の参考にもなります。 透明膜の光路（膜厚×屈折率）＝整数×波長/４で干渉します。 膜の干渉縞が赤→青に変わっていたら整数＝1として、 膜厚＝１×700nm／４／２．４＝70nm と 膜厚＝１×450nm／４／２．４＝50nm より、およそ４０％の膜厚分布があることが分かります。 エピ膜でなければ屈折率も変化しますので、素直に触針幕厚計やエリプソなどの使用をお勧めいたします。
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