N2パージの必要性を検討する：DUV光の吸収について
- ArF露光の光学系では、193nm光の吸収を防ぐためにN2パージを行っていると聞きました。
- 現在、DUVランプによる193nm中心±5nmの波長を使用した装置を計画しているのですが、N2パージの要不要を検討したいと考えています。
- N2パージはコストがかかるため、光の損失や、極端なスペクトルの変化がなければ大気環境で行いたいと考えています。大気環境下での損失を計算したく、吸光スペクトルのデータなど、参考になる資料を探しています。
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ＤＵＶ光の吸収について
ArF露光の光学系では、193nm光の吸収を防ぐためにN2パージを行っていると聞きました。 現在、DUVランプによる193nm中心±5nmの波長を使用した装置を計画しているのですが、N2パージの要不要を検討したいと考えています。N2パージはコストがかかるため、光の損失や、極端なスペクトルの変化がなければ大気環境で行いたいと考えています。大気環境下での損失を計算したく、吸光スペクトルのデータなど、参考になる資料を探しています。ご存知の方、ご教授頂きたく。よろしくお願いします。
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＞193nm光の吸収を防ぐためにN2パージを行っている この知識はどこから？
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