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真空環境下で使用できるフレキについて
- 真空チャンバー内での水冷や空冷に使用する柔軟な配管について教えてください。
- ベローズ関係の製品が提案されていますが、より柔軟性のあるものが良いです。
- 真空引き用のホースに関する規定やテフロンホースの使用についても教えてください。
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真空チャンバーの条件が、1×10^-4Pa程度が？？です。 多分、－1×10^4Paと思いますが、－0.0001Paではないでしょうね。 －1×10^4Paは、－10^KPaであり、－0.01MPaなので、1atmの1/10（真空度10％）です。 これなら、半導体なので、半導体グレードのPFAチューブを使用し、PFA継手を用いれば 配管できます。 但し、水冷又は空冷の圧力を確認し、PFA継手等を選択して下さい。 絶対圧表示ですか。0.0001Paなので略0.1MPa余分に圧力が加わると考えれば良いのですね。 PFAチューブとPFA継手を使用すれば問題は無いと思います。 圧力に関しては、選定時に再確認して下さい。（水冷又は空冷の圧力を再確認し）。
真空チャンバー内では＋0.1MPaの水圧という事を忘れないでいれば、 テフロンチューブで大丈夫と思います。 どの様な真空システムか判りませんが、 チャンバー内の漏水は甚大な被害が出ますので、 雰囲気温度と耐圧を十分考慮され、金属継手（SUSの食い込み継手）と テフロンチューブを使われるなら、デガスの問題も有りません。 真空チャンバー～大気間の貫通部については、 各社からサーモカップルコネクタと言われる継手が出ていますので、 SUS配管との組み合わせで貫通すれば良いでしょう。 （例えばスェージロック、フジキン等） ベロータイプのSUS配管は内圧を考慮しているのかどうかが不安です。 私もこういった使い方をした事がありませんし、 もし採用を考えられるならメーカーに確認された方が良いでしょう。
お礼
回答有難うございます。 内圧はほとんど無い系を考えていますので、 差圧が0.1Mpaと考えています。 テフロンチューブでデガスがほぼ無いとのことですので、 テフロンチューブ本命で検討したいと思います。 指摘の通り、漏水時の被害を考えると、 事前にテストをしてみた方が良さそうですね。。
http://www.toyox-hose.com/company/c-1-1.htm ホース関係の大手です。 本来なら油圧用のホースの方が良いとは思いますが… メーカに相談してみてはいかがでしょうか。 単純に真空状態でなければ、網入りのホースで充分かと思います。 http://www.kamlok.jp/ 水等液体のワンタッチの継手です。
お礼
回答有難うございます。 メーカホームページを確認させて頂きます。
補足
「１×１０＾－４Ｐａ」で表現はあっていると思っているのですが・・・ 一般的に高真空と呼ばれる領域です。 絶対圧とゲージ圧の違いでしょうか。 絶対圧を表していますので、「－」表記は無いと思います。 何か良いものがありましたら、宜しくお願いします。