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真空用Oリング
低真空チャンバーに大気側から駆動（摺動）シャフトを入れたいと思ってます。 その時、摺動部に使うOリングはどのようなものが良いのでしょうか。 または、このようなときはOリングは使えないのでしょうか。 こんな使い方をしています。 真空側 ｜ 大気側 ○ －－－－－－⇔ 直線運動の軸 ○ ｜ 低中真空（50Pa)に程遠く、100Pa程が限界の状況です。 Oリング溝の形状は、通常のJIS規格のもので行っていますが 何か違うのでしょうか。 シャフトはSUS磨きです。
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回答(1)さんはオイルシールを使用とのことですが、真空使用の場合はリップ に洩れ側の力が働くので、リップ押えのばね圧を上げなければなりません。 結果としてシールの寿命は短くなります。 適用真空度や軸の回転速度に因りますが、50Paほどと真空条件は緩いようで すので、高速で回さなければO-リング(真空グリス併用)で十分だと思いま す。PV値をご確認下さい。また真空使用の場合は軸の面粗度の影響を受け易 いことに注意してください。下記参照下さい。 上記資料の下記ご覧下さい。 http://www.nok.co.jp/seihin/o-rings_pdf/bg.pdf Oリングでは適当なつぶし代が必要です。つぶし代と溝および軸の面粗度を 確認下さい。P形のOリングの方がつぶし代が大きく取れるので、P形のほうが 良いでしょう。軸は直線で動かすとのことですが、バックアップリングの 使用も検討する余地があります。
前に使っていた実験用装置は、オイルシールに真空グリスをたっぷり塗って使っていました。 シャフトが鉄の場合、使用しない時は真空側に入れておかないと錆びます。 ×10-3Ｐａくらいでの使用が多かったですが、オイルシールの寿命が短く数ヶ月に一回くらい交換していました。構造が簡単で、早く完成する実験向きです。 信頼性重視なら、チャンバー内で回転から直線への変換をお勧めします。
お礼
そうそうに回答をいただきありがとうございます。 オイルシールの寿命の件、大変参考になります。 ただ、「ｘ10-3Pa」近辺とのことですが、今回は50Paほどで使用しようとしています。リークが多く使えないいでしょうか？ また、このとき使用するOリングですが、P型を用いるべきなのでしょうか？あるいは、何かもっと良いOリングがあるのでしょうか？ 御礼に質問を付け加え、すみません。 よろしくお願いします
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