真空用Oリング

質問

低真空チャンバーに大気側から駆動（摺動）シャフトを入れたいと思ってます。
その時、摺動部に使うOリングはどのようなものが良いのでしょうか。
または、このようなときはOリングは使えないのでしょうか。

こんな使い方をしています。

　真空側　　　｜　　　　　大気側
　　　　　　　○
　　　　－－－－－－⇔　直線運動の軸
　　　　　　　○
　　　　　　　｜

低中真空（50Pa)に程遠く、100Pa程が限界の状況です。

Oリング溝の形状は、通常のJIS規格のもので行っていますが
何か違うのでしょうか。
シャフトはSUS磨きです。

回答No.2

noname#230359

回答(1)さんはオイルシールを使用とのことですが、真空使用の場合はリップ
に洩れ側の力が働くので、リップ押えのばね圧を上げなければなりません。
結果としてシールの寿命は短くなります。
適用真空度や軸の回転速度に因りますが、50Paほどと真空条件は緩いようで
すので、高速で回さなければO-リング(真空グリス併用)で十分だと思いま
す。PV値をご確認下さい。また真空使用の場合は軸の面粗度の影響を受け易
いことに注意してください。下記参照下さい。

上記資料の下記ご覧下さい。
http://www.nok.co.jp/seihin/o-rings_pdf/bg.pdf

Oリングでは適当なつぶし代が必要です。つぶし代と溝および軸の面粗度を
確認下さい。P形のOリングの方がつぶし代が大きく取れるので、P形のほうが
良いでしょう。軸は直線で動かすとのことですが、バックアップリングの
使用も検討する余地があります。

参考URL：

http://www.nok.co.jp/seihin/o_tn_index.html

お礼

ありがとうございました。

なぜか、Oリングでリークを止められません。
軸は回転ではなく直線で動かしています。

Oリング溝寸法は、通常のJIS規格のまま使用していますが、それがいけないのでしょうか？

回答No.1

noname#230359

前に使っていた実験用装置は、オイルシールに真空グリスをたっぷり塗って使っていました。
シャフトが鉄の場合、使用しない時は真空側に入れておかないと錆びます。
×10-3Ｐａくらいでの使用が多かったですが、オイルシールの寿命が短く数ヶ月に一回くらい交換していました。構造が簡単で、早く完成する実験向きです。

信頼性重視なら、チャンバー内で回転から直線への変換をお勧めします。

お礼

そうそうに回答をいただきありがとうございます。
オイルシールの寿命の件、大変参考になります。
ただ、「ｘ10-3Pa」近辺とのことですが、今回は50Paほどで使用しようとしています。リークが多く使えないいでしょうか？
また、このとき使用するOリングですが、P型を用いるべきなのでしょうか？あるいは、何かもっと良いOリングがあるのでしょうか？

御礼に質問を付け加え、すみません。

よろしくお願いします