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三塩化シランの腐食性
- 三塩化シラン（トリクロロシラン）のＳＵＳ３０４、３１６Ｌにおける腐食性を教えてください。
- 水素中に数％含まれている三塩化シランは、ＳＵＳ３０４、３１６Ｌに対して腐食性があります。
- 三塩化シランは基本的には大気にさらされないが、定期修理時など部材が大気とふれる場合には腐食が起こる可能性があります。
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