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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:ウェハーの2Dコードのことで質問です。)
ウェハー上の2Dコード位置の刻印方法と読み取り方
このQ&Aのポイント
- ウェハー上に刻印されている2Dコードを2Dコードリーダーで読み取りたいのですが、刻印位置が分からない場合の解決方法についてご教示ください。
- ウェハーのサイズが300mm×200mmの場合、200mmウェハーで刻印位置にはノッチとオリフラの違いがあるかもしれません。具体的な寸法が記載された資料はございますか。
- ウェハー上の2Dコードの刻印位置を特定するための情報をお教えください。また、2Dコードリーダーでの読み取り方法についても案内していただけると助かります。
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noname#230359
回答No.1
レーザーマークは、SEMIスタンダードに規格が明記されています。 尚、日本のデバイスメーカーは、独自要求する事もありますので 注意が必要です。 (300mmは、スタンダードで裏面、200mmは表面だった記憶)