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バイトンゴムの貼り付きを低減する方法
- 真空装置で使用されるバイトンゴムは、ドアのシール材として使用されますが、一晩真空の状態で置くと非常に貼り付きが強くなります。バイトンゴムの貼り付きを低減するためには、ゴムの硬度を調整したり、ゴムのシール面を改質することが効果的です。
- 具体的な方法としては、ゴムの厚みを変更してみたり、ゴムの表面を磨いて改質することが挙げられます。ただし、ゴムの厚みを変える場合は、シール性能にも影響が出る可能性があるため注意が必要です。
- また、バイトンゴムの貼り付きを低減するためには、継続的なメンテナンスが必要です。定期的にゴムの状態をチェックし、必要に応じて修復や交換を行うことで、貼り付きを防ぐことができます。
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無難で簡単（製作側、使用者側共に）なのは、 アリ溝のＯリングをぐるりと巻いたドアかと思います。 これであれば、つぶし代も確実に管理できますし、パッキンと チャンバの貼り付きもないです。 高真空でも問題になったことはありません。 また、パッキンの永久圧縮ひずみによるシールの低下も避けることが できます。 この場合、押しネジによるパッキンの押さえは、大きなドアでない限り 必要ないですしね。 それでもやっぱり現状のドアに細工をしてなんとか問題回避したいなら、 パッキンのつぶし代を一定にする方法を採用するのがよいと思います。
お礼
アドバイス有難う御座います。 構想段階でアリ溝付きのＯリングのドアを考えてました（真空装置の定石ですね）が、別のアプローチで大幅にコストダウンできないか？と現状の構成になってしまいました。（結果大幅にコストダウンはできたのですが…） 余談ですが、アリ溝－Ｏリング－つぶし量規制の組み合わせでもバイトンの貼り付きは強烈ですね。溝から外れてＯリングだけ残ったみたいな事例もありました… つぶし代の制御は、現状の構成では精度的に（一部板金の面があるので）困難です… 永久圧縮ひずみによるシール性の低下は気になる所ですが…
パッキン改善の他で、設計的に変更がもしも可能であれば ドアのパッキンより外側の部分に貫通タップを設けて、押しネジ式にしてみてはどうでしょうか。ドアサイズにもよりますが、Ｍ８～Ｍ１０ボルト適宜本数をタップ部に貫通させて、手前の操作側に樹脂製ハンドルなどを取り付けておけば、手動回転させる事によって装置本体を押し開けるので、ユーザー様の日常メンテも必要なくなります。 ただし、押しボルトは見かけ以上に高トルクを発生させますので、パッキン剥がれが無いように、キー溝（台形溝）などの剥がれ落ち防止加工は必要かも知れません。 また、真空装置側との接触面積にも留意し、面での接触を極力避けて Ｏ－ｒｉｎｇ等の線接触をした場合の方が貼り付きを抑えられるのは言うまでもありません。
お礼
ドアの開閉シーケンスが１個増えてしまいますが、何か良い案が思い浮かびそうです。 （押したネジが自動で戻る機構にしないとダメそうですが） 本来であればＯリングを採用したかったのですが、装置構成上採用できませんでした… 新たなアイデア有難う御座いました。
テフロンスプレーでコーティングするのはいかがです。 http://www.hagitec.co.jp/hagiten/arm/arhagiten79.htm 毎回は塗らなくても良いと思います。
お礼
なるほど、こう言う物もあるんですね。 本番でコーティングに出す前に、一度コレで評価するのも良いかもしれません。 アドバイス有難う御座います。
シリコングリスを塗るのは如何でしょうか？ べったりではなく、薄く延ばして塗ります。 ウエスでふき取るくらいですが、、、、？ そうですか？ フッソゴムは熱をかけたり、圧力をかけたままだと、相手に密着してしまいます。 フッソゴムの特性です。 確かテフロンでカバ－したＯリングが有ったと思いますよ。 大きさが分かりませんが、ゴム屋さんに照会してみたら如何でしょうか？ 高いとは思いますが！
お礼
回答有難う御座います。 単純にシリコングリスや真空グリスを塗布する事は考えましたが、ユーザー様に毎回お願いするのもどうかと思い、何か別の方法を模索中です。 根本的な解決方法は無いものでしょうか？？ フッ素系ゴムが非常に粘着性が高い事は後から知りました。 テフロン系のコーティングが可能だとすれば、少し改善の方向が見えてきたような気がします。 一度業者さんに当たってみようと思います。 （メカ的に小細工するより安そうですので） アドバイス有難う御座いました。
ちなみに、つぶし率やＯリングサイズ、寸法はいくつですか？ 根本的につぶし量を規制するものがないのがまずいのでは？ そのうちシールが甘くなりませんか？ 真空度がどれ位必要なのかわかりませんが、対処方法は少々漏れてもいいのか 高真空レベルなのかにより違うとは思います。 それと、バイトンは接着材で取り付けている？ 接着面からバイトンが剥がれませんか？貴方の言う強い力で引き離すと。
補足
今回使用しているのはＯリングではありません。 バイトンシートｔ５を切り出した物で、寸法的には２５０×４００程度の物です。 つぶし率に関しては、規制するものが無いので大気圧により弾性限界（？）までつぶれているはずです。 つぶし量の規制が無いのは確かにまずいと思います。 実際に規制無しでどれぐらい潰れているか実測してみた所、約１０％程でした。 真空度は１～１０Ｐａ程度で高真空と言う程ではないですが、漏れはまずいです。 バイトンの固定は接着ではなく、押さえ部材で押えているだけですが、バイトンゴムだけが取れてしまう事は無いです。
以前居た職場でガラス製品をプレスする金型を扱っていたときに、金型の組み付け部分にパッキンを使用していました。 このパッキンがアスベスト入りだったのでノンアスパッキンに換えたところガラスの熱により強烈な張り付きを起こし苦労した経験があります。 このときに「ボロンスプレー」という白色のパウダースプレーをパッキン両面に塗布したところ驚くほど効果がありました。 バイトンとパッキンの違いがありますので参考まで。
お礼
早速の回答有難う御座います。 シール面として使用しているので、微粒子潤滑材みたいな物は恐らくＮＧと思われます。 （微粒子によりシール性が失われる？？） あと製品として、ユーザー様に毎回（定期的に？）塗布をお願いするのも少し難しいです。 ですが、改善案の一案として試してみたいと思います。 有難う御座います。
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