バイポーラトランジスタはなぜ微細化できないのか？

質問

最近ＲＦ回路もＣＭＯＳ微細化の恩恵を受けて、バイポーラトランジスタがＣＭＯＳに置き換わっていると思うのですが、根本的なところで疑問があります。

なぜバイポーラトランジスタはなぜ微細化できないのでしょうか？

回答No.1

shintaro-2

バイポーラの場合、
pnpまたはnpnという接合を造らなければいけません。

仮に、イオン打ち込みが可能であったとしても、活性化や基板のキュアのためにアニールをした段階で、ベースに相当する部分はなくなってしまうのでしょう。

ラテラルにして、ジャンクションの間にナイトライドでも挟むか、
いっそのこと最初からショットキーにするのが素直なのでしょう。