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バイポーラトランジスタはなぜ微細化できないのか?

最近RF回路もCMOS微細化の恩恵を受けて、バイポーラトランジスタがCMOSに置き換わっていると思うのですが、根本的なところで疑問があります。 なぜバイポーラトランジスタはなぜ微細化できないのでしょうか?

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バイポーラの場合、 pnpまたはnpnという接合を造らなければいけません。 仮に、イオン打ち込みが可能であったとしても、活性化や基板のキュアのためにアニールをした段階で、ベースに相当する部分はなくなってしまうのでしょう。 ラテラルにして、ジャンクションの間にナイトライドでも挟むか、 いっそのこと最初からショットキーにするのが素直なのでしょう。

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