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マイケルソン顕微干渉計
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面精度とかを調べるやつでしたら、溝尻光学で扱ってますよ。 http://www.mizojiri-opt.co.jp/htmls/s4.htm 大井町の辺にある町工場みたいな会社ですが、干渉顕微鏡等の精密光学測定機器では昔から有名な存在です。
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